艾博納高低溫探針臺是一款專為高精度電子測量設計的優良測試設備，廣泛應用于科研和工業領域，旨在提供超凡的測試性能與可靠性。其精心設計能夠滿足嚴苛的測試需求，尤其適用于高低溫環境下的精準測量。

產品型號：ABN-VPS-001

該設備的真空腔體采用外腔與屏蔽腔雙腔體結構，確保樣品在測試過程中處于極限真空狀態，最大真空度可達到10^-4 Pa。這樣的設計有效防止了低溫條件下水汽凝結的現象，并在高溫測試時防止樣品氧化，顯著提升了測試的穩定性和可靠性，同時優化了制冷效率，為用戶提供更為精準的測試環境。

顯微鏡部分，艾博納高低溫探針臺搭載了高性能體式金相顯微鏡，能夠在絕大多數環境下提供高穩定性的顯微觀察，確保在各種條件下都能得到清晰、精確的視圖。此外，艾博納高低溫真空探針臺還配備了優良的1270萬像素尼康CCD相機，能夠捕捉細節豐富、色彩真實的圖像，幫助用戶準確分析樣品的微觀結構。

無論是在科研實驗中對材料的精密分析，還是在工業生產中對高精度元件的質量檢測，這款探針臺都能夠提供可靠的支持，成為您理想的測試伴侶。

工作原理

溫度控制系統

制冷方式：

熱電制冷（TEC）：通過帕爾貼效應實現快速降溫（-60°C至+150°C），適合小范圍溫度調節。

液氮制冷（LN?）：利用液氮蒸發吸熱實現超低溫（-196°C至室溫），適用于極低溫測試。

加熱方式：電阻絲或薄膜加熱器，用于升溫（最高可達+300°C以上）。

溫度均勻性：通過導熱介質（如氮氣循環或真空環境）確保樣品臺溫度分布均勻。

探針定位系統

精密機械結構：XYZ三軸微米級移動平臺，搭配顯微鏡或CCD相機輔助探針與樣品的精確對準。

真空吸附：通過真空吸盤固定樣品，避免位移。

信號測試系統

探針類型：直流探針、高頻探針、同軸探針等，連接至源表（SMU）、網絡分析儀等測試設備。

屏蔽設計：電磁屏蔽箱減少外界干擾，提升測試精度。

操作流程

準備工作

樣品安裝：清潔樣品臺，使用真空吸附或機械夾具固定樣品。

探針安裝：選擇合適探針（材質、間距），安裝到探針臂并調整高度。

溫度設置：根據測試需求設定目標溫度（如-50°C、25°C、150°C）。

溫度控制啟動

液氮模式：連接液氮罐，開啟制冷系統，監控溫度曲線直至穩定。

TEC模式：設置溫度梯度，避免溫度驟變導致樣品或探針損傷。

探針定位與測試

顯微鏡對準：通過顯微鏡觀察，調整探針與樣品的Pad接觸，確保接觸電阻最小。

電學測試：連接測試儀器（如Keysight B1500A），執行IV曲線、阻抗、射頻特性等測試。

結束操作

升溫回常溫：避免直接關閉制冷導致結霜。

關閉系統：依次關閉測試設備、溫度控制器、真空泵等。

維護要點

日常維護

清潔：使用無塵布和異丙醇清潔樣品臺、探針，防止氧化或污染。

探針保養：定期檢查探針磨損，必要時更換或重新打磨。

氣路檢查：液氮管路需定期檢查密封性，避免泄漏或堵塞。

溫度系統維護

液氮系統：排空殘留液氮，防止管路腐蝕；檢查杜瓦罐壓力閥。

TEC模塊：避免長時間滿負荷運行，防止熱電偶老化。

機械系統維護

移動平臺潤滑：定期涂抹專用潤滑脂，保持XYZ軸移動順暢。

真空泵維護：更換真空泵油，檢查吸附力是否達標。

電氣安全

接地檢查：確保設備接地良好，防止靜電損傷樣品。

屏蔽箱維護：檢查屏蔽效能，防止電磁干擾。

定期校準

溫度校準：使用標準溫度傳感器（如PT100）校驗樣品臺實際溫度。

探針定位校準：通過標準刻度片校正顯微鏡和移動平臺精度。